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东莞市日和自动化设备有限公司
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地址：广东省东莞市道滘镇万道路2 号华科城创新岛产业孵化园28栋
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产品详情
产品描述
设备概要：二氧化碳喷雾精密清洗机
产品：4，6，8 英寸晶圆，MEMS，光罩
功能： 从专用喷嘴喷射干冰粉，以去除颗粒和有机残留物。晶圆无水清洗防静电措施，防止结露机械手自动将晶圆从盒中取出并存储。
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