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关键字：清洗设备、非标设备及其它、超声波清洗设备、Scrub清洗设备、药液（氢氟酸）清洗设备、C02清洗设备及自动化非标设备

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半导体用清洗机
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个旧半导体用清洗机

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类别：

个旧半导体用清洗机

86-0769 22460873

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产品描述

设备概要：晶圆清洗机

产品：4英寸，6英寸晶圆。 功能: 晶圆来料清洗。

第1槽：純水1MHz超音波洗浄（间接清洗，避免二次金属污染）。

第2槽：薬液(SC1)1MHz超音波洗浄（间接清洗，避免二次金属污染）。

第3槽：QDR淋水。

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