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产品描述
设备概要：浸渍湿法蚀刻机 产品：6英寸晶圆＆晶圆盒。
功能：在药液中水平摇动晶圆，蚀刻晶圆表面。
第1槽：使用氯化铁的蚀刻槽。 液温50±0.3℃。水平摆动周期2.0±0.2秒
蚀刻时间计时器控制
平均蚀刻速率23A/sec。(Sigma 1A)
蚀刻后图案线宽偏差±4um
（线宽30～170um）
第2槽：纯水QDR第一冲洗槽。
第3、4槽：纯水溢流第2冲洗槽。
特点：通过自动机忠实地再现了客户开发的手动蚀刻工艺。（客户已申请专利）
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