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关键字：清洗设备、非标设备及其它、超声波清洗设备、Scrub清洗设备、药液（氢氟酸）清洗设备、C02清洗设备及自动化非标设备

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凯里供给装置

类别：

凯里省力化设备

86-0769 22460873

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产品描述

设备概要：晶圆移载装置

产品： 5，6，8英寸晶圆

功能： 从盒子中自动取出晶圆。吻合位置后，5英寸，6英寸，8英寸并定位后移载到支架上。吻合精度为±0.1mm。

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