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关键字：清洗设备、非标设备及其它、超声波清洗设备、Scrub清洗设备、药液（氢氟酸）清洗设备、C02清洗设备及自动化非标设备

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mems芯片，光罩用CO2 清洗机
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眉山mems芯片，光罩用CO2 清洗机

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眉山mems芯片，光罩用CO2 清洗机

86-0769 22460873

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产品描述

设备概要：二氧化碳喷雾精密清洗机

产品：4，6，8 英寸晶圆，MEMS，光罩

功能： 从专用喷嘴喷射干冰粉，以去除颗粒和有机残留物。晶圆无水清洗防静电措施，防止结露机械手自动将晶圆从盒中取出并存储。

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