移载机

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本装置是从清洗笼取出基板，将其放置到真空镀膜用的托盘里，将托盘同步传送到真空镀膜装置，基板镀膜后排出，将基板从托盘取出，放置到清洗笼中的自动化输送线。托盘从台车上自动取出搬运后，再回到台车上。台车的投入和取出是人工作业，供给机的空清洗笼排出到传送带上的，排出机的空清洗笼投入入传送带上的

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